1.湍流稀釋流:“非單向氣流。空氣分配,在此期間,進入潔淨室或潔淨區的一次空氣通過吸風與室內空氣混合。” (ISO 14644-1-2016-06)過濾後的潔淨空氣以渦流作用引入潔淨室,並逐漸增加顆粒濃度的稀釋度。根據這種流動原理,員工在潔淨室條件下的行為尤為重要,以確保達到所需的空氣中顆粒物潔淨度等級。
2.低湍流位移流:“在潔淨室或潔淨區域的整個橫截面上的單向氣流,具有均勻速度的調節氣流,被視為平行氣流。” (DIN EN ISO 14644-1-2016-06)這也稱為“層流”,要求低湍流。在此過程中,空氣從相對的一側逸出,通常由穿孔的雙層地板組成。從那裡,它返回到再循環設備,在那裡再次被過濾。低湍流位移流特別適用於敏感的工作區域。
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